ICP-MS（电感耦合等离子体质谱仪）是一种确定低浓度（范围：ppb = 十亿分之几 = µg/l）和超低浓度元素（范围：ptt = 万亿分之几 =纳克/升）。原子元素被引导通过等离子体源，在那里它们被电离。然后，根据它们的质量对这些离子进行分类。ICP-MS 技术优于 AAS（原子吸收光谱）或 ICP-OES（电感耦合等离子体发射光谱）的优点是：


极低的检测限
大的线性范围
检测元素同位素组成的可能性
ICP-MS 技术与 ICP-OES 一样具有多元素特性和高样品通量，但它允许执行更灵敏的测量。ICP-MS检测的优缺点是会出现光谱和非光谱干扰，成本高。


原则
ICP部分（图）




ICP-OES 一样，样品溶液通过蠕动泵进入设备。在那里它在雾化室中被雾化。产生的气溶胶被注入温度为 6000-8000 K 的氩等离子体中。在等离子体炬内，溶液从样品中去除，同时发生原子化和电离。只有一小部分在等离子体中产生的离子会进一步渗透到质谱仪部分。


质谱仪部分包括：

一个界面（特别是“采样锥”和截取锥），其中传输了少量由等离子体产生的自由离子。在此过程中，离子从具有极高温度和大气压的环境迁移到室温高真空 (< 0,001 Pa) 的隔室
将（正）离子聚焦到真正质谱仪入口的静电透镜
GI 装置中的真正质谱仪有一个四极杆，由 4 个金属棒组成，这些金属棒通过一种共振原理根据离子的质量将它们分开
包含活性表面的电子倍增器（一种特定类型的检测器），可增强来自一个碰撞离子的信号，从而产生可测量的脉冲
对脉冲进行计数和分类并将它们与相应质量相关联的电子设备。这种选择可以在几毫秒内完成，因此可以在一秒内获得完整的光谱。
样品制备/如何交付样品
固体材料最好只用硝酸破坏（保持 HNO 3的浓度低于 10%，最好在 1% 左右），或者必要时用 HNO 3 /H 2 O 2。这个步骤可以在微波中作为封闭破坏来进行-烤箱。
样品应酸化（最好用 1-5% HNO 3以保持金属在溶液中）
在 12 – 15 ml 试管中提供样品。
样品中盐的含量应保持在0.2%以下（=2 g/l）
HCl 会导致沉淀，硫酸中的硫会干扰分析。
GI 处的炬管不耐 HF。
样品不应含有任何有机溶剂。
尽可能指出样品中预期的待分析元素的近似浓度
ICP-MS可用于测量富集实验的同位素比，但该设备不适用于分析同位素天然丰度的差异。