电感耦合等离子体质谱仪的主要目的是测定各种材料的高质量(精确和准确)元素浓度。ICP-MS由于样品通量高、检测范围广、元素覆盖广，通常用于地质、环境、化学、生物、工业、半导体、冶金、石化、医疗和法医等领域的元素分析。核样本和考古样本。


　　按类别分析的材料示例包括：


　　地质学——岩石、矿物分离物、沉积物、土壤、土壤浸出液和化石中的微量元素。

　　环境——地表水和地下水(淡水至咸水)中的重金属/毒素、沉积物提取物、废物、鱼骨和组织、双壳类碳酸盐/组织和植物消化物。

　　医疗-骨骼/组织/食物/尿液/血液中的微量金属含量。

　　蛋白质/酶的生物-金属含量。

　　考古——骨骼、陶瓷或其他人工制品中的微量元素。


　　一、优势


　　1.广泛的元素覆盖范围——大多数第一电离电位低于氩的元素都可以通过电感耦合等离子体质谱进行分析.

　　2.高灵敏度。

　　3.求解模式的宽分析工作范围为——，单次采集可达九(9)个数量级；从单ppt到100 ppm。

　　4.快速定量和半定量分析时间——使用高速扫描四极杆分析仪，可以在大约四(4)分钟内分析样品中的完整元素组。

　　5.精度和准确度好(求解方式约为1-3%；激光模式约为1-10%)

　　6.通过等离子体优化、离子聚焦和碰撞反应池技术的进步，可以很好地控制干扰(等压、多原子、双电荷物质)。

　　7.液体和固体样品引入系统。

　　8.所需样品体积相对较小(溶液模式通常为1-3毫升)。

　　9.能够测量同位素比率。

　　10.优秀的色谱检测器-确定样品中的化学形式(形态)。


　　二、限制

　　1.总溶解固体(TDS)的公差是有限的。如果沉积物积聚在雾化器、锥体或透镜组件上，与TDS较低的样品/标准相比，将影响仪器的稳定性和等离子体中的电离一致性(基质效应)。

　　2.为瞬态峰生成高精度(低相对标准偏差)数据是不切实际的(例如，使用电感耦合等离子体飞行时间质谱)。

　　3.因为：(1)“闪烁”噪声与样品引入有关，包括与蠕动泵、雾化器和等离子体有关的波动，“散粒噪声”与坏光子、电子和离子撞击探测器有关；(2)扫描四极杆不能同时测量内标和所有分析物同位素以获得最佳漂移补偿的事实。与多采集器系统相比，后者限制了精度(约10倍)。

       4.分析速度和样品通量可能受到四极扫描速率(主要考虑同位素比测量的准确性或非常快的瞬态信号的测量)和样品之间冲洗和引入新样品所需的冲洗时间的限制。

　　5.ICP-MS系统的光谱分辨率(0.7-1.0 amu)不足以对易受Ar、溶剂和/或样品光谱干扰的元素进行离散测量。碰撞池系统使这个问题仅次于微量元素的测定。