今天沙巴滚球官网入口的小编给大家带来的是关于影响钨灯丝扫描电镜性能的因素之电子光学合轴,一起来看下吧。
钨灯丝扫描电镜的电子光学系统由电子枪、聚光镜、物镜以及物镜光阑等组合而成。电子枪发射的电子一定要沿着这些部件的中心轴线穿过,因此要调节这些部件同轴,调节同轴的过程我们称之为合轴,合轴也称之为对中。合轴后图像亮度最亮,像差最小,分辨率最高,合轴是束流稳定的一个主要因素之一。合轴主要包括电子枪合轴还有光阑合轴。
更换钨灯丝扫描电镜的灯丝还有在灯丝使用过程当中,电子枪灯丝发射的电子要和聚光镜和物镜的光轴对中调节,称镜筒合轴,或者称之为电子枪合轴。电子枪合轴能够机械调节或者自动合轴。合轴是通过电子源的倾斜校正及水平校正进行调节,使灯丝发射的电子与聚光镜和物镜的光轴重合。合轴后图像的亮度最高。
不同型号的钨灯丝扫描电镜的物镜光阑孔径的数量也不一样。要得到高分辨率图像及稳定的束流,在物镜光阑交换还有光阑清洗之后,需要重新调整物镜光阑孔径的位置,使物镜光阑孔径位置在物镜极靴的中心,这种调节过程称之为物镜光阑合轴。物镜光阑合轴后,电子束通过物镜和光阑的中心。光阑位置有偏离的时候,图像的像差会变大,没有办法得到高分辨率的图像,束流也不稳定。
光阑合轴是通过光阑的x,y方向移动旋钮进行调节,调节后通过图像聚焦,来观察图像是不是有移动,假如高倍(比方说10000X)图像在聚焦过程当中不发生图像移动,并且束流最大,则表示光阑合轴良好。能够通过选定SEM的Wobbler按钮,观察图像的摆动大小,然后进行x,y方向移动调节,让图像无移动说明合轴良好。