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扫描电镜成像过程与电视成像过程有很多相似之处，但扫描电镜的成像原理与透射电镜完全不同。透射电子显微镜使用成像电磁透镜一次成像，而扫描电子显微镜不需要成像透镜，其图像是按一定的时间和空间顺序逐点形成，在镜外显像管上显示。然而，电子显微镜的分辨率取决于几个因素，其核心是上述的加速电压。但其他因素也很重要，如显微镜中磁透镜和电磁透镜的像差效应。不同类型和复杂程度的电子显微镜的分辨率极限列于表1。
扫描电镜类型 | 典型空间分辨率 |
桌面扫描电镜（紧凑型可以坐在桌子上 - 热发射源） | ~3 -15 纳米 |
热发射电子源扫描电镜 | 3纳米 |
肖特基场发射扫描电镜 | 0.6 纳米 |
120 kV 透射电镜 | 0.2 纳米 |
200 kV 透射电镜 | 0.1 纳米 |
300 kV 透射电镜 | 0.1 纳米 |
具有像差校正功能的 300 kV TEM | 0.06 纳米 |
