电子行业水处理设备—超纯水系统
电子行业超纯水系统,对水中的离子含量要求是非常高的,我们的系统采用先进的反渗透技术,结合尖端的EDI,混床技术,使产水水质最高可达18.25兆欧,水质符合美国ASTM标准。目前我国电子工业部把电子级水质分为五个行业标准,即分别为18MΩ•cm,15MΩ•cm,10MΩ•cm,2MΩ•cm和0.5MΩ•cm,以区分不同水质。
一、超纯水设备的技术参数:
产水水质:水质符合美国ASTM标准,电子工业部超纯水水质标准18MΩ•cm,15MΩ•cm,10MΩ•cm,2MΩ•cm和0.5MΩ•cm这五级
产水水量:0.5~100T/H
材 质:玻璃钢、不锈钢、有机玻璃……等。
二、主要工艺流程:
1、预处理→反渗透主机→水箱→阳床→阴床→混床→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→精密过滤器→用水对象
2、预处理→一级反渗透→加药泵( PH调节)→中间水箱→二级反渗透→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象
3、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→不锈钢精密过滤器→用水对象
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→精密过滤器→用水对象
三、主要特点:
*该超纯水系统的全部运作均在预设程序下自动进行,具备全自动功能。
*超纯水系统结构布置紧凑,有效节约空间。
*系统能耗低,制水成本低廉。
*系统运行安全可靠,供水管路封闭,出水水质稳定。
适用范围
生产半导体、光伏太阳能、集成电路芯片、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子元器件等电子工业用的超纯水系统。
现在我们制备超纯水的方法是将各种纯化水的新技术合理地结合在一起,不仅能生产超纯水,而且变得非常容易。目前市售的超纯水器就是一个成功的例子。自来水进去超纯水出来,非常方便,而且它的使用寿命也越来越长。
超纯水设备制备超纯水的原理和步骤大致如下:
1.原水:可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。
2.机械过滤:通过砂芯滤板和纤维柱滤除机械杂质,如铁锈和其他悬浮物等。
3.活性炭过滤:活性炭可吸附气体成分,如水中的余氯等等;吸附细菌和某些过滤金属等。氯气能损害反渗透膜,因此应力求除尽。
4.反渗透膜过滤:可滤除95%以上的电解质和大分子化合物,包括胶体微粒和病毒等。出于绝大多数离子的去除,使离子交换柱的使用寿命大大延长。
5.紫外线消毒:借助于短波(180nm-254 nm)紫外线照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物,如甲醇、乙醇等,使其转变成CO2和水,以降低TOC的指标。
6.离子交换:已知混合离子交换床是除去水中离子的决定性手段。借助于多级混合床获得超纯水也并不困难。但水的TOC指标主要来自树脂床。因此高质量的离子交换树脂就成为成功的关键。所谓高质量的树脂,就是化学稳定性特别好,不分解,不含低聚物、单体和添加剂等的树脂。
7.0.2μm滤膜过滤,以除去水中的颗粒物道每毫升1个(小于0.2μm的口经过上述各步骤处理后生产出来的水就是超纯水了。应能满足各种仪器分析,高纯分析,痕量分析等的要求,接近或达到电子级水的要求。