影响钨灯丝扫描电镜性能之电子光学合轴：


　　钨灯丝扫描电镜的电子光学系统由电子枪、聚光镜、物镜以及物镜光阑等组合而成。电子枪发射的电子一定要沿着这些部件的中心轴线穿过，因此要调整这些部件同轴，调整同轴的过程称之为合轴，合轴也称之为对中。合轴后图像亮度最亮，像差最小，分辨率最高，合轴是束流稳定的一个关键因素其中之一。合轴主要包含电子枪合轴还有光阑合轴。


　　替换灯丝与在灯丝使用过程当中，电子枪灯丝发射的电子要和聚光镜还有物镜的光轴对中调节，称之为镜筒合轴，或者称之为电子枪合轴。电子枪合轴能够进行机械调节还有自动合轴。合轴是通过电子源的倾斜校正还有水平校正进行调节，让灯丝发射的电子和聚光镜以及物镜的光轴重合，合轴后图像的亮度最高。


　　不同型号的钨灯丝扫描电镜的物镜光阑孔径的数量也不一样。要得到高分辨率图像还有稳定的束流,在物镜光阑交换以及光阑清洗之后，需要重新调整物镜光阑孔径的位置，让物镜光阑孔径位置在物镜极靴的中心，这种调节过程称之为物镜光阑合轴。物镜光阑合轴后，电子束通过物镜与光阑的中心。光阑位置有偏离的时候，图像的像差会变大，没有办法得到高分辨率的图像，束流也不稳固。


　　光阑合轴是通过光阑的x,y方向移动旋钮进行调节，调节之后通过图像聚焦，来观察图像是不是有移动，假如是高倍（比方说10000X）图像在聚焦过程当中不发生图像移动，并且束流最大，表示光阑合轴良好。能够通过选定SEM的Wobbler按钮，观察图像的摆动大小，随之进行x,y方向移动调节，让图像没有办法移动表示合轴良好。