X射线荧光光谱仪的传统用途源于地质学。固体样品是第一种通过 X 射线分析的样品类型。多年来，应用范围不断扩大，如今的应用范围涵盖合金分析、各种类型的粉末样品、液体样品和过滤材料。

      X射线荧光光谱仪的效应基于样品中原子的激发。一次 X 射线，通常在 X 射线管中产生，撞击原子的内壳电子并从原子中发射出电子。开放位置由来自另一个外壳的电子填充，并发射荧光辐射。荧光能量等于两个选举壳之间的能量差。因此，这种辐射的能量是原子的特征，表明样品中存在什么原子。
        由于样品中存在许多原子，它会发射不同能量的各种 X 射线。在能量色散X射线荧光光谱仪器中，荧光辐射由半导体检测器收集。X 射线在探测器中产生信号，这些信号取决于入射辐射的能量。信号在多通道分析仪中收集。

      这个过程一个一个地处理每一个 X 射线，但速度很高。沙巴滚球官网入口X射线荧光光谱仪机器的探测器每秒可以处理 100 万次计数。这使其成为准同时测量。即使测量时间很短，光谱也可以提供足够的信息来计算强度，这可用于确定样品的成分。使用更长的测量时间可以获得更好的统计数据，从而获得更好的精度和更好的峰背比，从而提高检测限。

     为了对样品中存在的元素进行高精度分析，至少应该收集几百万个计数。如果样品含有高浓度元素并且检测器可以处理高计数率，这很容易，但如果浓度低且检测系统只能处理低计数率，则这将更加困难。