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校准仪器氦质谱检漏仪是气体工业生产的专用术语。用氦气或氡气作为泄漏指示器，用气体检测仪检查氦气进行检漏。氦气背景噪声低，含量小，粘度指数小，容易按漏孔扩散。另外，氦气是一种塑性气体，对机器设备没有腐蚀作用，所以常用氦气作为泄漏气体。将这种气体喷入与气体检测器相连的测试容器中(调整到只反射氦气的工作状态)。如果容器有泄漏，探测器会在一定程度上反映出来，进而知道泄漏情况和蒸汽泄漏的大小。
技术发展用以发电厂检漏的氦质谱检漏仪。核心功能部件之间均为進口，特性以及平稳靠谱。不但敏感度高，并且根据实际工作操作更加便捷，可以双钨丝全自动转换、全自动调零、全自动校正和全自动测量研究范围不断转换。
计量检测操作方法：
氦质谱检漏技术是真空泵检漏行业中不可缺少的技术，由于检漏简单、操作方便、仪器设备灵活、精度高，且不受其他气体的影响，在电加热炉检漏中得到了广泛的应用。氦质谱检漏仪是根据质谱基本原理，以氦作为检漏指示气体制成的气密性检测仪。由离子源、分解器、回收器、冷阴极水解仪、真空萃取系统软件和部分电气设备组成的质谱分析室。质谱室中钨丝发出的电子器件在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气通过泄漏孔进入室内，水解成正离子。这种氦正离子以加速静电场效应进入电磁场，因为洛伦兹力效应引起位移，产生弧形轨迹，改变加速工作电压，可以根据电磁场和到达接受极的接受狭缝测试不同质量的正离子。注氦法和吸氦法是电加热炉氦质谱仪检漏常用两种方法。
