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等离子体质谱仪在长时间的使用过程中，难免会出现各种各样的状况，下面我们来说说电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）的常见维护。
进样系统(蠕动泵，雾化器，雾室，炬管)
蠕动泵如果失去弹性，将影响样品的正常进样，需要随时检查，更换就可以。
雾化器和雾室要注意是否堵塞，雾化器如果堵塞会出现灵敏度降低仪器稳定性差。必要时进行雾化器清洗，一般都有自行清洗功能，要注意每天更换清洗进样系统的超纯水及清洗管路的稀酸液；。
炬管，一般是可以拆卸的，可以将其放人热王水中浸泡后用去离子水洗干净，最后放干后使用。要随时检查矩管是否有破损。
接口(采样锥和截取锥)
一般而言，锥盘清洁维护保养时机点主要依据分析背景值升高，记忆效应产生，峰变形或真空度产生变化(真空压力下降表明有堵塞的现象，若真空压力上升代表锥孑L已经破损，则需要更换锥盘)。
保养过程清洁保养全过程须穿戴安全眼镜与保护手套，因锥孔容易受损，清洁保养处理时须小心，轻拿轻放，避免污染。洗液一般选用仪器厂家自带比较把握。可采用浸泡或超声波清洗，处理后用去离子水清洗干净，用软布或擦镜纸擦拭干净。重复2～6次，最后用氮气或氩气吹干，或烘箱(60度)干燥。
透镜系统
透镜系统是十分精密的部分，最好由专业人员进行维护。如果仪器运行负荷很大的话，最好半年查一次，如需要的话，进行清洗。提取透镜最好每月检查清洗。一般采用水磨砂纸打磨提取透镜，再用去离子水清洗或超声清洗，但时间不易太长。清洗透镜时，请注意所使用的工具顶部也要清洗，而且一定要戴好无粉手套后才可接触透镜，以防污染。透镜和引导片可以使用砂纸打磨，去离子水冲洗，超声清洗，然后在空气中晾干或烘箱中烘干。也可用丙酮清洗将表面的水赶尽。
检测器
目前ICPMS通常采用隧道电子倍增器作为检测器，检测器使用一段时间后，产生“疲劳效应”，这将导致检测器灵敏度下降，此时，应向厂家咨询活化处理的方法或送至厂家进行活化处理．另外电子倍增器通常有ICP—MS的真空系统非常重要。真空通过真空泵来完成。ICP—MS的泵有两类，机械泵和分子涡轮泵。
分子涡轮泵集成在主机上，一般不需要维护。而机械泵通过管子和主机连接。机械泵注意要经常加油。
冷却水系统
应定时更换冷却水，约每半年更换一次，每年检查一次水接头，防止漏水，必要时及时更换。定期清理水循环的散热器，三年左右检查制冷量。
气路系统
定期检查内外气路，看是否有漏气。每次关气时，务必同时关掉调压阀，并把瓶口冲洗干净。每次开气时，确认调压阀处于关闭状态，先打开钢瓶总开关，然后打开调压阀，调节到指定压力。
